催化燃燒設備活性炭的主要依賴於催化燃燒爐的化學反應，催化燃燒爐流程如下：
有機廢氣進行脫附時，首先啟動脫附風機，氣體經過催化床而被催化床內的電加熱器加熱，加熱後的空氣經過氣動閥門 2 進入活性炭床層，吸附飽和後的活性炭在熱空氣的作用下，有機物質從活性炭表麵分離，並隨氣體一起進入催化床，在催化床內催化劑的作用下分解成 CO2 和 H2O，同時放出大量的熱，使氣體溫度進一步提高.
高溫氣體在催化床內的換熱器進行部分熱量回收後分兩部分，一部分通過氣動閥門 3 直接排空；另一部分通過氣動閥門 2 進入活性炭層，對活性炭循環再生。通過調節氣動閥 1、2、3 之間的開度，可讓活性炭的脫附溫度穩定地維持在一定溫度範圍內。此外，通過控製脫附溫度和風機的流量可使再生氣體中有機物的濃度控製在合適的範圍內，該濃度燃燒放出的熱量可維持係統運行需要的熱量，此時，催化床內的電加熱可停止，係統利用再生出來的有機物燃燒放熱來維持運行，節約運行費用。
